Quel est l’environnement de l’atmosphère de processus du système de vide ?

Dans l'application du système de vide, le gaz extrait comprend non seulement les différents gaz générés dans le processus d'application, mais inclut également l'atmosphère et l'air d'origine dans le système, etc., alors, quel est le total ?

1. Certains gaz générés lors du processus de mise sous vide

Il comprend les gaz émis par les matériaux utilisés dans le processus et les gaz introduits selon les besoins du processus, ainsi que les gaz évaporés du liquide/solide dans le système de vide.Le calcul de la quantité de gaz varie considérablement selon les différents processus et matériaux traités.

2. Des gaz atmosphériques existaient auparavant dans le système de vide

Dans le système de vide, il y a une certaine quantité de composants gazeux atmosphériques dans la chambre droite du conteneur d'air et dans la conduite de vide, etc. Au début de l'extraction, ils constituent la principale charge de gaz du système de vide et sont également les premiers à être extraites par le système.

3. Fuite de gaz dans le système d'air

Les gaz de fuite font référence à certains gaz qui s'échappent dans le système de vide à travers le joint d'étanchéité sous vide et divers canaux de fuite.

Pour un système de vide donné, la quantité de gaz qui s’échappe est une constante.

Différentes applications des systèmes de vide et différentes pressions limites imposent également des limites strictes sur la quantité de gaz de fuite.

4. Désorption et libération de gaz à la surface de chaque matériau dans le système de vide

Sous pression normale, la surface du matériau dans le système de vide absorbera et dissoudra une partie du gaz.

Dans l'état de pression négative, ils seront à nouveau libérés, la décharge des propriétés du gaz et des matériaux, la technologie de traitement et l'état de surface du matériau ont une excellente relation.

5. L'atmosphère à l'extérieur du système de vide pénètre une partie du gaz à l'intérieur du système à travers le matériau de la paroi de la chambre.

Les gaz se dissolvent et s'infiltrent également dans les solides.

En conséquence, l’atmosphère imprègne le système de vide à travers le matériau.

Ce type de perméation n'est pas pris en compte dans les systèmes métalliques généraux, mais certaines applications dans les systèmes sous vide en verre ou dans les systèmes métalliques à paroi mince peuvent nécessiter la prise en compte de certains effets du gaz de perméation.

Les cinq aspects ci-dessus constituent la charge de pompage totale du système de vide.

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